技术参数：

1.整机规格：500×300×300（长×宽×高）mm

2.整机重量：35 Kg
3.清洗舱规格：Φ165×L210 mm (耐热玻璃)
4.清洗舱有效容积：4.5 L

5.输入电源：220 V／50 Hz
6.整机输入功率：400 W
7.射频输出：0～150 W（连续可调）
8.射频频率：13.56 MHz

9.数字式定时器范围：0～99.99 min

10.极限真空度：60 Pa

11.二路浮子流量计：0.2~1.5L/min量程，方便二种气体按比例混合

12.观察窗：观察清洗仓内辉光状态

13.常用工作气体：空气、氩气、氮气或混合气体

14.VRD-8型单相真空泵。

等离子清洗是一种非破坏性的表面处理技术，通过能量转换技术在一定负压状态下，电能将气体转化为极高活性的等离子体，等离子体轻柔冲刷固体样品表面，引起分子结构的改变，从而达到对样品表面有机污染物进行超清洗，在极短时间内有机污染物被外接真空泵抽走，其清洗能力可以达到分子级。在一定条件下等离子体也可使样品表面特性发生改变。由于采用气体作为清洗介质，所以能有效避免样品的再次污染。等离子清洗机既能加强样品的粘附性、相容性和浸润性，也能对样品进行杀毒和灭菌。目前，等离子清洗机已广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、高分子、生物医学、微观流体学等领域

应用领域：

LED、LCD、OLED、PCB等封装领域中的超清洗和改性，增强其粘附性
半导体元件、印刷线路板、ATR元件、人工晶体、天然晶体的超清洗
移除光学元件等表面光阻物质，去除金属材料表面氧化物
清洗生物芯片、微流控芯片、沉积凝胶基片、高分子材料表面的修饰及改性
涂覆镀膜领域中对玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面改性，使其活化，增强表面粘
附性、浸润性、相容性，显著提高涂覆镀膜质量

设备优点：

性能稳定、性价比高、不使用化学溶剂、绿色环保无污染
整机一体化，结构紧凑，清洗效率高，使用成本极低，易于维护
工作参数可调可选，智能控制，人机界面友好，程序设置操作简单
大容量清洗舱适合工业生产中批量样品的清洗，具有表面清洗、表面活化的功能
常温条件下对样品进行非破坏性超清洗，气体清洗介质保证样品清洗后无二次污染

真空泵VRD-8

优秀的性能，整体式缸体结构，具有更高的精度，经验证的旋片技术，使性能更加稳定，确保系统具有更高的可能性良好的散热，风冷结构，无需外接水冷箱，减少系统安装和维护成本

强制润滑，内置齿轮泵及恒压供油机构强制供油，高吸气压强下也能稳定可靠运行

多档气镇设计，满足客户的真空度要求和水蒸气的处理能力

氟橡胶密封件提高抗腐蚀性，解决漏油问题

双重防返油结构，自动防返油阀，更可靠地保护您的真空系统在停机后免受油的污染

高品质油雾过滤器，有效过滤油雾，保护环境清洁