仪器设备

Harrick PDC-32G等离子清洗机

等离子设备

型号:Harrick PDC-32G-2-等离子清洗机

产品资料下载:PDC-MG-02  Harrick 产品介绍 Harrick 英文介绍

购买联系:sales@juxinmems.com

解决方案:该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料,并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。

详细信息

1. 产品简介:

        Harrick Plasma是国际一流的等离子清洗器生产商,在业内已经有三十多年的经验。他所生产的小型等离子清洗器结构紧凑、质量可靠、价格合理;广泛地被大中院校、科研机构、企业研发机构和实验室采用。其产品主要应用在材料科学、高分子科学、生物医药材料学、微流体研究、微电子机械系统研究、光学、显微术、牙科医疗等领域中的污染物清除、表面活化、粘合前处理、表面化学改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料,并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。

2. 主要特征:
1台式设计,结构紧凑精致
2低、中、高三档可调节功率,最大可为18W
3设备辐射小,安全环保

3. 基本参数:

1外形尺寸:8.5"H x 10"W x 8"D215mm x 254mm x 203mm

2重量:6.0kg

3输入电源: 220 V50Hz

4输入功率: 100 W

5功率档:
        
低档680V DC10mA DC6.8W
        
中档700V DC15mA DC10.5W
        
高档720V DC25mA DC18W

4. 常用工作气体:
空气、氩气、氮气或混合气体等

5. 基本配置:
1直径3英寸,长6.5英寸的耐热玻璃舱体。
2可拆卸舱盖。
3最大为18WRF线圈。
41/8英寸NPT针阀
51/8英寸NPT三通阀

6. 选配件:
1石英等离子清洗舱
2石英托盘(用于放置样品)
3气体计量混合器Plasma FloTM

7. 周边设备:
基本型专用真空泵(PDC-VPE-2

8. 可选件:

选件一:气体计量混合器PlasmaFloTM

功能及配置简介:
1Harrick  PlasmaFloTM气体计量混合器是一台可任选的以满足客户的不同需求的备件

2)可应用于样品的表面改性。
3在等离子清洗过程中气体流混合和压力监视。
4为向舱内注入两种气体提供了可能。
5含两个标准的气体流量计(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
6温差电偶真空度表测量舱内压力
7适用气体:空气、氮气、氩气或混合气体。
8尺寸:8 1/2"H x 10"W x 8"D 

选件二:真空泵
Harrick等离子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm),压力为200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。Harrick 提供两种可选型号:
1PDC-VP-2 (220V) 
1抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
2 极限压力(气镇关)1.5 mTorr
3极限压力(气镇开)23 mTorr
4 电机功率:(50/60 Hz): 250/300 W
5重量: 34 lbs
6尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
2PDC-VPE-2 (220V)          

1 抽真空速度(50/60 Hz): 5.1 m3/hr
2极限压力(气镇关): 7.5 mTorr
3极限压力(气镇开: 150 mTorr
4电机功率(50/60 Hz): 373 W
5重量: 27 lbs
6尺寸: 9 3/4"H x 14"W x 5 1/2 D"  

选件三:石英等离子清洗舱及托盘