一、设备名称：射频真空射频等离子表面处理系统

二、设备型号： PTL-VR500

三、设备简介：
PTL系列低温等离子表面处理设备由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统
等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作
室进行抽真空达到 30-40pa的真空度，再在高频发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态），
其显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的彩色可见光，材料处理温度接近室温。
这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等
各种表面改性。等离子处理优点：
1.环保技术：等离子体作用过程是气-固相干式反应,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。
2.广适性：不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理；
3.温度低：接近常温，特别适于高分子材料，比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。
4.功能强：仅涉及高分子材料浅表面（10-1000埃），可在保持材料自身特性的同时，赋予其一种或多种新的功能；
5.低成本：装置简单，易操作维修，可连续运行，往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。 
6.全过程可控工艺：所有参数可由电脑设置和数据记录，进行工艺质量控制。
7.处理物几何形状无限制：大或小，简单或复杂，部件或纺织品，均可处理。
四、技术参数 1、设备外形尺寸 : 450(W)×380(D)×330(H)mm 2、真空仓体尺寸 : Φ165×220(L)mm（5L） 3、仓体结构 :高纯石英腔体，外置电感耦合电极，无污染，内置石英托盘。 4、等离子发生器 :原装 PTL公司射频电源，频率 13.56MHZ，功率 0-150W调节，全电路保护，可连续长时间工作。（风冷）。 5、控制系统 :PLC触摸屏全自动控制，采用欧姆龙、施耐德等进口品牌电器元件 ,有手动、自动两种控制模式，真彩台达触摸屏，西门子可编程控制器（ PLC），美国产真空压力传感系统，可在线设定、修改、监控真空压力、处理时间、等离子功率等工艺参数，并具有故障报警、工艺存储等多种功能。在自动模式下设置各项工艺参数，即可一键启动，连续重复运行。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。五、工艺流程：
5.1处理工艺流程装入工件 →抽真空 →冲入反应气体 →等离子放电处理 →回冲气体 →取出工件
5.2工艺控制：
2.1处理时间控制： 1秒～120分钟连续可调。
2.2等离子放电压力：30～80Pa
2.3功率设定范围：0～150W连续可调
2.4流量设定范围：气体 1（0～300ml/min）气体 2（0～500ml/min）
5.3 PLC软件功能（操控界面）

3.1主画面：实时监视并显示运行状态及数据，等离子电源功率、阀门开关、真空压力、运行时间等。
3.2参数设置：可设定、修改工艺参数及步骤
3.3工作状态：可在线查看真空压力、等离子功率等数据及状态
3.4故障报警：多种故障检测、报警及互锁保护。

六、真空泵： VRD-8

优秀的性能，整体式缸体结构，具有更高的精度，经验证的旋片技术，使性能更加稳定，确保系统具有更高的可能性良好的散热，风冷结构，无需外接水冷箱，减少系统安装和维护成本

强制润滑，内置齿轮泵及恒压供油机构强制供油，高吸气压强下也能稳定可靠运行

多档气镇设计，满足客户的真空度要求和水蒸气的处理能力

氟橡胶密封件提高抗腐蚀性，解决漏油问题

双重防返油结构，自动防返油阀，更可靠地保护您的真空系统在停机后免受油的污染

高品质油雾过滤器，有效过滤油雾，保护环境清洁

七、场地要求

电源：两相三线，独立接地，接地电阻≤ 2Ω。应使用截面积 3 mm²以上的接地线将设备接至 PE。

真空泵排放气管：软管，管径（内径）建议将排气管接至室外

场地温度：≤ 40℃

相对湿度：RH（35-85）%

 八、 PTL-VR500型等离子系统装箱清单